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更多>>石英晶振監控的優缺點及測厚儀
來源：http://m.jqhs.com.cn 作者：康比電子 2018年02月27
石英晶振體作為頻率元件、濾波器,振蕩元件已廣泛應用在廣播,通信,電子測量、航空、航天等方面。其發展歷史只有短短幾十年,美國是發展石英晶體最早的國家之一,最近一、二十年來,由于PCS、GSM、GPS、PDC、CDMA等諸多移動通信和基站的需求,石英晶體振蕩器中的石英晶體諧振器不再是單個元件。它已發展成為組件,而且幾乎全部以集成化、全集成化、全數字化形式作成振蕩器展現出來,振蕩器的體積比過去單個諧振器的體積縮小了數倍乃至數十倍。要制作出一個合格的石英晶振需要大大小小很多工序。
石英晶體振蕩測厚儀
膜厚控制儀用電子組件引起晶振片的高速振動,約每秒6百萬次(6MHz),鍍膜時,測試每秒鐘振動次數的改變,從所接受的數據中計算膜層的厚度。為了確保晶振片以6MHz的速度振動,在真空室外裝有“振蕩器”,與晶控儀和探頭接口連接,振蕩器通過迅速改變給晶振片的電流使晶振片高速振動。
一個電子信號被送回晶控儀。晶控儀中的電路收到電子信號后,計算晶振片的每秒振速。這個信息接著傳送到個微處理器,計算信息并將結果顯示在晶控儀上：
（1)沉積速率(Rate) (埃/秒)
（2)已沉積的膜厚( Thickness) (埃)
（3)晶振片的壽命(Lie) (%)
（4)總的鍍膜時間(Time) (秒)
更加精密的設備可顯示沉積速率與時間的曲線和薄膜類型。
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石英晶振監控的優缺點
◆優點:
1.晶振法是目前唯一可以同時控制膜層厚度和成膜速率的方法。
2.輸出為電訊號,很容易用來做制程的自動控制。
3.對于厚度要求不嚴格的濾光片可以利用作為自動制程鍍膜機。
4.鍍金屬時,石英晶振監控較光學監控來的方便精確。
◆缺點
1.厚度顯示不穩定。
2.只能顯示幾何厚度,不能顯示折射率。
3.一般精密光學鍍膜厚度只用做參考,一般用作鍍膜速率的控制。
◆所以一臺鍍膜設備往往同時配有石英晶體振蕩器監控法和光學膜厚監控法兩套監控系統,兩者相互補充以實現薄膜生產過程中工藝參數的準確性和重復性,提高產品的合格率。更多技術資料以及晶振產品解決方案可聯系康比電子
石英晶體振蕩測厚儀
膜厚控制儀用電子組件引起晶振片的高速振動,約每秒6百萬次(6MHz),鍍膜時,測試每秒鐘振動次數的改變,從所接受的數據中計算膜層的厚度。為了確保晶振片以6MHz的速度振動,在真空室外裝有“振蕩器”,與晶控儀和探頭接口連接,振蕩器通過迅速改變給晶振片的電流使晶振片高速振動。
一個電子信號被送回晶控儀。晶控儀中的電路收到電子信號后,計算晶振片的每秒振速。這個信息接著傳送到個微處理器,計算信息并將結果顯示在晶控儀上：
（1)沉積速率(Rate) (埃/秒)
（2)已沉積的膜厚( Thickness) (埃)
（3)晶振片的壽命(Lie) (%)
（4)總的鍍膜時間(Time) (秒)
更加精密的設備可顯示沉積速率與時間的曲線和薄膜類型。
石英晶振監控的優缺點
◆優點:
1.晶振法是目前唯一可以同時控制膜層厚度和成膜速率的方法。
2.輸出為電訊號,很容易用來做制程的自動控制。
3.對于厚度要求不嚴格的濾光片可以利用作為自動制程鍍膜機。
4.鍍金屬時,石英晶振監控較光學監控來的方便精確。
◆缺點
1.厚度顯示不穩定。
2.只能顯示幾何厚度,不能顯示折射率。
3.一般精密光學鍍膜厚度只用做參考,一般用作鍍膜速率的控制。
◆所以一臺鍍膜設備往往同時配有石英晶體振蕩器監控法和光學膜厚監控法兩套監控系統,兩者相互補充以實現薄膜生產過程中工藝參數的準確性和重復性,提高產品的合格率。更多技術資料以及晶振產品解決方案可聯系康比電子
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此文關鍵字： 石英晶振石英晶振監控的優缺點
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